El mecanizado de micropartes también se denomina micro sistema electromecánico o microsistema. Es un microdispositivo o sistema que se puede producir en lotes, integrando micro mecanismos, micro sensores, micro actuadores y circuitos de procesamiento y control de señales, incluso interfaces periféricos, circuitos de comunicación y fuentes de alimentación. Sus principales características son: tamaño pequeño (rango de tamaño de característica: 1μm-10mm), peso ligero, bajo consumo de energía, rendimiento estable; Propicio para la producción en masa y reducir los costos de producción; Pequeña inercia, alta frecuencia de resonancia, tiempo de respuesta corto; Intensivos logros de alta tecnología, alto valor agregado. El objetivo del micromecanizado no es solo reducir tamaño y volumen, sino también buscar nuevos principios y nuevos componentes y sistemas funcionales a través de la miniaturización y la integración, para abrir un nuevo campo técnico y formar una industria industrializada por lotes.

La tecnología de mecanizado micro CNC se refiere a la tecnología de micro mecanizado convertida en dispositivos mecánicos. El surgimiento y desarrollo de la microfabricación ha estado estrechamente relacionado durante mucho tiempo con los circuitos integrados a gran escala. Los circuitos integrados requieren que se puedan acomodar más componentes electrónicos en un área pequeña de semiconductor para formar circuitos complejos y completos. El ancho de línea mínimo en el patrón de circuito fino es un indicador técnico clave para mejorar la integración de circuitos integrados. Para la industria de la microelectrónica, el mecanizado micro-CNC es una tecnología de fabricación avanzada para la fabricación de componentes de tamaño micro o patrones moldeados delgados con escalas de procesamiento que van desde micrómetros hasta nanómetros. En la actualidad, la tecnología de microprocesamiento incluye principalmente el procesamiento plano de silicio y la tecnología de procesamiento a granel desarrollada a partir de la tecnología de microprocesamiento de circuitos integrados de semiconductores. Desde mediados de la década de 1980, en el procesamiento LIGA (proceso de galvanoplastia de micromoldes), procesamiento cuasi-LIGA, procesamiento ultrafino, mecanizado por descarga microeléctrica (EDM), procesamiento por haz de plasma, procesamiento por haz de electrones, Se ha logrado un progreso considerable en la fabricación de prototipos rápidos (RPM) y en técnicas de microfabricación como la tecnología de unión.

Los sistemas de micromecanizado pueden completar tareas que los sistemas electromecánicos a gran escala no pueden. La estrecha integración del micromecanizado y la tecnología electrónica permitirá que surja una amplia gama de microdispositivos. Estos microdispositivos están integrados y fabricados en grandes cantidades a bajo precio y serán ampliamente utilizados en muchas áreas de la vida humana. Se puede esperar que en este siglo, el micromecanizado pase gradualmente del laboratorio a la aplicación y tenga un impacto significativo en el desarrollo de la industria y la agricultura, la información, el medio ambiente, la biomedicina, el espacio y la defensa nacional. La tecnología de micromecanizado es un campo técnico muy importante y muy activo en el campo de la tecnología de micromecanizado. Su desarrollo no solo promueve el desarrollo de muchas disciplinas relacionadas, sino que también está estrechamente relacionado con el desarrollo de la ciencia y tecnología nacionales, la economía y la defensa nacional. El desarrollo de la tecnología de micromecanizado tiene una enorme perspectiva de aplicación industrial.