微型零件加工又稱為微機電系統或微系統. 它是一種可以大量生產的微型裝置或系統, 整合微觀機制, 微型感測器, 微型執行器, 以及訊號處理和控制電路, 甚至外圍接口, 通訊電路和電源. 其主要特點是: 小型 (特徵尺寸範圍: 1μm-10mm), 輕的, 低能耗, 性能穩定; 有利於批量生產,降低生產成本; 慣性小, 高共振頻率, 反應時間短; 高新技術成果密集, 高附加價值. 微加工的目的不僅是減少尺寸和體積, 其中目標是更加小型化, 一體化, 尋找新原理, 系統的新功能和元素, 開拓新的技術領域, 形成的工業群體.
微型數控加工技術是指將微細加工技術製成機械裝置. 微細加工的出現和發展長期以來與大規模積體電路密切相關. 積體電路要求在較小面積的半導體上可以容納更多的電子元件,形成複雜完整的電路. 精細電路圖形中的最小線寬是提高積體電路整合的關鍵技術指標. 用於微電子產業, 微型數控加工是一種先進的製造技術,用於製造加工尺度從微米到奈米的微型零件或薄成型模型. 現在, 微加工技術主要包括矽平面加工及從半導體積體電路微加工技術發展而來的體加工技術. 自1980年代中期以來, 在 LIGA 處理中 (微模具電鍍工藝), 準LIGA處理, 超精細加工, 微細放電加工 (電火花加工), 等離子束加工, 電子束加工, 快速原型製造和製造取得重大進展 (轉速) 和黏合技術, 微加工技術製成.
微加工系統可以完成大型機電系統無法完成的任務. 微機械加工與電子技術的緊密結合將使種類繁多的微型裝置問世. 這些微型裝置經過整合、大量製造、價格低廉,將廣泛應用於人類生活的許多領域. 可以預見,在本世紀, 微加工將逐步從實驗室走向應用, 將對工農業的發展產生重大影響, 資訊, 環境, 生物醫學, 空間, 和國防. 微加工技術是微加工技術領域中一個非常重要、非常活躍的技術領域. 它的發展不僅帶動了許多相關學科的發展, 但也與國家科技發展密切相關, 經濟和國防. 微加工技術的發展具有龐大的工業應用前景.