மைக்ரோ பாகங்களை டர்னிங் மற்றும் அரைக்கும் சூப்பர் ஃபினிஷிங்
மைக்ரோ சிஎன்சி எந்திரத் தொழில்நுட்பம் உலோகப் பகுதிகளின் மேற்பரப்பை சூப்பர்-ஃபினிஷ் செய்ய முழு தானியங்கி முறையைப் பின்பற்றுகிறது. ஒரு வகையான இயந்திர வேதியியல் நடவடிக்கை மூலம், உலோக பாகங்களின் மேற்பரப்பில் 1-40μm பொருள் அகற்றப்படுகிறது, மற்றும் செயலாக்கப்பட்ட மேற்பரப்பின் மேற்பரப்பு தரமானது ISO தரநிலையின் N1 அளவை விட அல்லது சிறப்பாக உள்ளது. மைக்ரோ சிஎன்சி எந்திரத் தொழில்நுட்பம் முக்கியமாக அல்ட்ரா-பிரிசிஷன் பாலிஷிங் மற்றும் அல்ட்ரா-பிரிசிஷன் பிரைட்னிங் ஆகிய இரண்டு துறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது..