மைக்ரோ சிஎன்சி எந்திரத் தொழில்நுட்பம் உலோகப் பகுதிகளின் மேற்பரப்பை சூப்பர்-ஃபினிஷ் செய்ய முழு தானியங்கி முறையைப் பின்பற்றுகிறது. ஒரு வகையான இயந்திர வேதியியல் நடவடிக்கை மூலம், உலோக பாகங்களின் மேற்பரப்பில் 1-40μm பொருள் அகற்றப்படுகிறது, மற்றும் செயலாக்கப்பட்ட மேற்பரப்பின் மேற்பரப்பு தரமானது ISO தரநிலையின் N1 அளவை விட அல்லது சிறப்பாக உள்ளது. மைக்ரோ சிஎன்சி எந்திரத் தொழில்நுட்பம் முக்கியமாக அல்ட்ரா-பிரிசிஷன் பாலிஷிங் மற்றும் அல்ட்ரா-பிரிசிஷன் பிரைட்னிங் ஆகிய இரண்டு துறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.. அல்ட்ரா துல்லிய மெருகூட்டல் பாரம்பரிய கைமுறை மெருகூட்டல் செயல்முறையை தானியங்குபடுத்துகிறது; சூப்பர்-பிரிசிஷன் பிரகாசம் ஒரு புதிய மேற்பரப்பு இடவியல் உருவாக்குகிறது.
மைக்ரோ-சிஎன்சி எந்திர தொழில்நுட்பத்தின் ஒரு சிறந்த நன்மை என்னவென்றால், இது பகுதியின் மேற்பரப்பில் புதிய நுண் கட்டமைப்புகளை வழங்க முடியும்.. இந்த நுண் கட்டமைப்புகள் குறிப்பிட்ட பயன்பாட்டு செயல்பாடுகளுக்கு பகுதி மேற்பரப்பின் தகவமைப்புத் திறனை மேம்படுத்தலாம். உராய்வு மற்றும் இயந்திர வேறுபாடுகளைக் குறைத்தல் போன்றவை, உடைகள் எதிர்ப்பை மேம்படுத்துதல், மற்றும் பூச்சுக்கு முன்னும் பின்னும் மேற்பரப்பின் படிவு செயல்திறனை மேம்படுத்துதல்.
பொதுவாக, மிகத் துல்லியமான பிரகாசம் இரண்டாம் நிலை மைக்ரோ-ரஃப் மேற்பரப்புகளை அகற்றும். இரண்டாம் நிலை கரடுமுரடான மேற்பரப்பின் தடிமன் இடையில் உள்ளது 0 மற்றும் 20 μm, பகுதி மேற்பரப்பின் முதன்மை மைக்ரோ கரடுமுரடான மேற்பரப்பின் சிகரங்களுக்கு இடையில் அமைந்துள்ளது. சூப்பர்-ஃபினிஷிங் பாலிஷ் முதன்மை நுண்ணிய கரடுமுரடான மேற்பரப்பை ஓரளவு அல்லது முழுமையாக நீக்குகிறது, மற்றும் அதன் மதிப்பு இடையே உள்ளது 10 மற்றும் 40 μm. நிச்சயமாக இது பகுதி பொருள் மேற்பரப்பின் ஆரம்ப நிலையைப் பொறுத்தது.
இதுவரை மைக்ரோ ஃபேப்ரிகேஷன் தொழில்நுட்பத்தால் செயலாக்கப்படும் பொருட்கள்: இணைக்கப்பட்ட மற்றும் கடினப்படுத்தப்பட்ட எஃகு, தாமிரம் மற்றும் செம்பு கலவைகள், வார்ப்பிரும்பு, இன்கோனல் நிக்கல் அலாய் (நிக்கல் அடிப்படையிலான கலவை), டைட்டானியம், முன் சிகிச்சை (PVD, CVD, மின்முலாம் பூசுதல்) மேற்பரப்பு கடினமான பூச்சு சிகிச்சைக்கு முன்னும் பின்னும்.