Bearbetning av mikrodelar kallas också mikroelektromekaniskt system eller mikrosystem. Det är en mikroenhet eller ett system som kan tillverkas i omgångar, integrera mikromekanismer, mikrosensorer, mikroställdon, och signalbehandlings- och styrkretsar, även perifera gränssnitt, kommunikationskretsar och strömförsörjning. Dess huvuddrag är: liten storlek (funktionsstorleksintervall: 1μm-10 mm), lätt vikt, låg energiförbrukning, stabil prestanda; det främjar massproduktion och minskar produktionskostnaderna; Liten tröghet, hög resonansfrekvens, kort svarstid; Intensiva högteknologiska prestationer, högt mervärde. Syftet med mikrobearbetning är inte bara att minska storleken och volymen, varvid målet genom mer miniatyrisering, integration, att söka efter ny princip, nya funktioner och delar av systemet, öppnar upp ett nytt teknikområde, den industriella massan bildades.
Mikro CNC-bearbetningsteknik hänvisar till mikrobearbetningstekniken som görs till mekaniska enheter. Framväxten och utvecklingen av mikrotillverkning har länge varit nära relaterad till storskaliga integrerade kretsar. Integrerade kretsar kräver att fler elektroniska komponenter kan rymmas på en liten del av halvledarområdet för att bilda komplexa och kompletta kretsar. Den minsta linjebredden i det fina kretsmönstret är en viktig teknisk indikator för att förbättra integrationen av integrerade kretsar. För mikroelektronikindustrin, mikro-CNC-bearbetning är en avancerad tillverkningsteknik för tillverkning av komponenter i mikrostorlek eller tunt gjutna mönster med bearbetningsskalor som sträcker sig från mikrometer till nanometer. För närvarande, mikrobearbetningstekniken inkluderar huvudsakligen kiselplanar bearbetning och bulkbearbetningsteknik utvecklad från mikrobearbetningstekniken för integrerade halvledarkretsar. Sedan mitten av 1980-talet, i LIGA-bearbetning (mikroformpläteringsprocessen), kvasi-LIGA-bearbetning, ultrafin bearbetning, mikroelektrisk urladdningsbearbetning (EDM), plasmastrålebehandling, elektronstrålebehandling, Betydande framsteg snabb prototypframställning och tillverkning (RPM) och bindningsteknik, mikrobearbetningsteknik tillverkad.
Mikrobearbetningssystem kan utföra uppgifter som storskaliga elektromekaniska system inte kan. Den nära integrationen av mikrobearbetning och elektronisk teknik kommer att göra det möjligt för ett brett utbud av mikroenheter att komma ut. Dessa mikroenheter är integrerade och tillverkade i stora kvantiteter till låga priser och kommer att användas i stor utsträckning inom många områden av mänskligt liv. Det kan förväntas att i detta århundrade, mikrobearbetning kommer gradvis att gå från laboratorium till applikation, och kommer att ha en betydande inverkan på utvecklingen av industri och jordbruk, information, miljö, biomedicin, utrymme, och det nationella försvaret. Mikrobearbetningsteknik är ett mycket viktigt och mycket aktivt tekniskt område inom området för mikrobearbetningsteknik. Dess utveckling främjar inte bara utvecklingen av många relaterade discipliner, men är också nära relaterad till utvecklingen av nationell vetenskap och teknik, ekonomi och nationellt försvar. Utvecklingen av mikrobearbetningsteknik har en enorm industriell tillämpning.