В последние годы, гражданская оборона и другие области спрос на различные станки с ЧПУ, миниатюризация изделий продолжает расти, функции крошечных устройств, сложность конструкции, Требования к надежности также возрастают. Поэтому, большое значение имеет исследование и разработка экономически целесообразных технологий микрообработки., способен обрабатывать трехмерные геометрические фигуры и разнообразные материалы., и размеры элементов от микрометров до миллиметров. В настоящий момент, микрорезка стала важной технологией, позволяющей преодолеть ограничения технологии MEMS..