微小部品の加工は、微小電気機械システムまたはマイクロシステムとも呼ばれます。. バッチ生産可能なマイクロデバイスまたはシステムです。, マイクロメカニズムを統合, マイクロセンサー, マイクロアクチュエータ, および信号処理および制御回路, 周辺インターフェースも含めて, 通信回路と電源. その主な特徴は次のとおりです。: 小さいサイズ (フィーチャーサイズの範囲: 1μm~10mm), 軽量, 低エネルギー消費, 安定したパフォーマンス; 大量生産に役立ち、生産コストを削減します; 慣性が小さい, 高い共振周波数, 短い応答時間; 集中的なハイテク成果, 高い付加価値. 微細加工の目的はサイズと体積を減らすことだけではありません, さらなる小型化による目標, 統合, 新しい原理を探求する, システムの新しい機能と要素, 新しい技術分野を開拓する, 形成された産業集団.
マイクロCNC加工技術とは、機械装置を微細加工する技術のことです。. 微細加工の出現と発展は、長い間大規模集積回路と密接に関係してきました。. 集積回路では、複雑で完全な回路を形成するために、より多くの電子部品を半導体の狭い領域に収容できることが必要です. 微細な回路パターンの最小線幅は、集積回路の集積度を向上させるための重要な技術指標です。. マイクロエレクトロニクス業界向け, マイクロ CNC マシニングは、マイクロメートルからナノメートルの範囲の加工スケールでマイクロサイズのコンポーネントや薄肉成形パターンを製造するための高度な製造技術です。. 現在のところ, 微細加工技術には、主に半導体集積回路の微細加工技術から発展したシリコンの平面加工技術とバルク加工技術が含まれます。. 1980年代半ば以降, LIGA処理中 (マイクロモールドメッキ工程), 準LIGA処理, 超微細加工, 微細放電加工 (放電加工), プラズマビーム加工, 電子ビーム加工, ラピッドプロトタイピングと製造の大幅な進歩 (回転数) と接合技術, 微細加工技術で作られた.
マイクロマシニング システムは、大規模な電気機械システムでは不可能なタスクを完了できます。. 微細加工と電子技術の緊密な統合により、さまざまなマイクロデバイスの登場が可能になります. これらのマイクロデバイスは統合され、低価格で大量に製造され、人間の生活の多くの分野で広く使用されるでしょう。. 今世紀中にはそうなることが予想される, 微細加工は実験室から応用へと徐々に移行していきます, 産業と農業の発展に大きな影響を与えるでしょう, 情報, 環境, 生物医学, 空間, そして国防. マイクロマシニング技術は、マイクロマシニング技術の分野において非常に重要かつ非常に活発な技術分野です。. その発展は多くの関連分野の発展を促進するだけではありません, 国家科学技術の発展にも密接に関係しています, 経済と国防. 微細加工技術の発展は産業応用の大きな可能性を秘めています.