يُطلق على تصنيع الأجزاء الدقيقة أيضًا النظام الكهروميكانيكي الصغير أو النظام الصغير. إنه جهاز أو نظام صغير يمكن إنتاجه على دفعات, دمج الآليات الدقيقة, أجهزة الاستشعار الدقيقة, المحركات الدقيقة, ودوائر معالجة الإشارات والتحكم, حتى الواجهات الطرفية, دوائر الاتصالات وإمدادات الطاقة. معالمه الرئيسية هي: حجم صغير (نطاق حجم الميزة: 1ميكرومتر-10 ملم), وزن خفيف, استخدام طاقة منخفضة, أداء مستقر; إنه يفضي إلى الإنتاج الضخم ويقلل من تكاليف الإنتاج; الجمود الصغيرة, تردد الرنين العالي, وقت استجابة قصير; إنجازات مكثفة في مجال التكنولوجيا الفائقة, قيمة مضافة عالية. الغرض من الآلات الدقيقة ليس فقط تقليل الحجم والحجم, حيث الهدف من خلال المزيد من التصغير, اندماج, للبحث عن مبدأ جديد, الميزات والعناصر الجديدة للنظام, فتح مجال جديد من التكنولوجيا, تشكلت الكتلة الصناعية.
تشير تكنولوجيا التصنيع باستخدام الحاسب الآلي الصغيرة إلى تكنولوجيا التصنيع الدقيقة المصنوعة في الأجهزة الميكانيكية. لقد ارتبط ظهور التصنيع الدقيق وتطوره منذ فترة طويلة ارتباطًا وثيقًا بالدوائر المتكاملة واسعة النطاق. تتطلب الدوائر المتكاملة إمكانية استيعاب المزيد من المكونات الإلكترونية على مساحة صغيرة من أشباه الموصلات لتشكيل دوائر معقدة وكاملة. يعد الحد الأدنى لعرض الخط في نمط الدائرة الدقيقة مؤشرًا فنيًا رئيسيًا لتحسين تكامل الدوائر المتكاملة. لصناعة الالكترونيات الدقيقة, التصنيع باستخدام الحاسب الآلي الدقيق عبارة عن تقنية تصنيع متقدمة لتصنيع مكونات صغيرة الحجم أو أنماط مقولبة رفيعة بمقاييس معالجة تتراوح من الميكروميتر إلى النانومتر. في الوقت الحالي, تشتمل تقنية المعالجة الدقيقة بشكل أساسي على المعالجة المستوية للسيليكون وتكنولوجيا المعالجة السائبة التي تم تطويرها من تقنية المعالجة الدقيقة للدوائر المتكاملة لأشباه الموصلات. منذ منتصف الثمانينات, في معالجة LIGA (عملية طلاء القالب الصغير), معالجة شبه LIGA, معالجة فائقة الدقة, آلات التفريغ الكهربائية الدقيقة (موسيقى الرقص الإلكترونية), معالجة شعاع البلازما, معالجة شعاع الإلكترون, تقدم كبير في النماذج الأولية السريعة والتصنيع (دورة في الدقيقة) وتكنولوجيا الربط, تم تصنيع تكنولوجيا المعالجة الدقيقة.
يمكن لأنظمة التصنيع الدقيقة إكمال المهام التي لا تستطيع الأنظمة الكهروميكانيكية واسعة النطاق إنجازها. إن التكامل الوثيق بين الآلات الدقيقة والتكنولوجيا الإلكترونية سيمكن من ظهور مجموعة واسعة من الأجهزة الدقيقة. ويتم دمج هذه الأجهزة الدقيقة وتصنيعها بكميات كبيرة وبأسعار منخفضة وسيتم استخدامها على نطاق واسع في العديد من مجالات الحياة البشرية. ومن المتوقع أن يكون ذلك في هذا القرن, سوف تنتقل الآلات الدقيقة تدريجيًا من المختبر إلى التطبيق, وسيكون لها تأثير كبير على تطوير الصناعة والزراعة, معلومة, بيئة, الطب الحيوي, فضاء, والدفاع الوطني. تعد تكنولوجيا التصنيع الدقيق مجالًا تقنيًا مهمًا للغاية ونشطًا للغاية في مجال تكنولوجيا التصنيع الدقيق. إن تطويرها لا يعزز فقط تطوير العديد من التخصصات ذات الصلة, ولكنه يرتبط أيضًا ارتباطًا وثيقًا بتطور العلوم والتكنولوجيا الوطنية, الاقتصاد والدفاع الوطني. إن تطوير تكنولوجيا الآلات الدقيقة له آفاق تطبيقات صناعية ضخمة.